 특징 표시분해능 : 0.0001um
최소측정면적 : 0.1mm
코리미터 5종류 기본제공
편리한 자동 스테이지
측정패턴저장 연속측정
3차원 측정그래프 출력
PCB, 각종부품 측정 적용분야 PCB기판 등과 측정면적이 작은 부위측정에 알맞습니다.
단자 (Connector), 전자부품, 볼트, 너트, 와이어(Wire)의 측정이 가능합니다.
굴곡이 심하고 다양한 형태의 악세서리 측정이 가능합니다.
측정량이 많은 자동차부품, 기계부품 등의 측정에 적합합니다. 기능 비파괴 측정
측정대상물을 파괴하지 않습니다.도금물의 표면을 접촉하지 않으며, 손상하지 않고 측정이 가능합니다따라서, 표준판은 반영구적으로 사용이 가능합니다.
빠른 처리속도
멀티채널 : 멀티채널에 의해 스팩트럼분석이 빠른 시간내에 처리됩니다. 처리속력은 약 2∼3초 정도입니다.
|
모델명 |
EX-3000 AUTO |
|
제작사 |
Elecfine
(일본)
|
|
스테이지 |
자동 |
|
측정부 |
크기 |
602W × 463D × 732H |
|
본체 중량 |
61 |
|
기타 중량 |
컴퓨터 중량 : 8.8Kg 프린터 중량 : 5.2
|
|
테임블 크기 |
240×220 |
|
이동
가능거리 |
X |
200 |
|
Y |
200 |
|
Z |
80 |
|
X 선원 |
타겟 |
텅스텐 |
|
관전압(kV) |
50 |
|
주사방식 |
상면수직조사방식 |
|
검출기 |
비례 계수관 |
|
필터 |
수치 필터 및 기계식필터(Ni & Co)의 자동변환 |
|
코리미터(기본사양) |
5 종류 |
|
0.1, 0.2, 0.5, 1.0 , 2.0 (자동변환) |
|
코리미터(옵션사양) |
0.05 x 0.5, 0.05 |
|
시료관찰 |
CCD 카메라 |
|
17 컴퓨터 모니터 |
|
컴퓨터 |
IBM 호환기종 |
|
프린터 |
잉크젯 프린터 |
|
측정대상 |
원자번호 22(Ti) ∼ 82(Pb) 원자번호 21이하는 흡광법에 의한 측정 |
|
측정단위 |
um, mil, Ml, g/m2, OZ/ft2, mg/cm2,Å 선택가능 |
|
측정범위 |
원자번호 22 ∼ 24 : 0.2 ∼ 약 20um
원자번호 25 ∼ 40 : 0.1 ∼ 약 30um
원자번호 41 ∼ 51 : 0.2 ∼ 약 70um
원자번호 52 ∼ 82 : 0.05 ∼ 약 10um |
|
검량선 |
검량선자동작성기능
멀티포인트검량선 |
|
측정기능 |
자동 측정기능 |
|
측정결과 출력, 자동측정 조건설정기능, 스펙트럼 측정, 측정포인트사이의 거리측정기능 |
|
교정기능 |
교정곡선의 자동 표시, 다점교정 |
|
보정기능 |
하지보정 |
|
어플리케이션 |
단층두께.2층 3층두께, 합금두께 및 성분비동시측정,무전해니켈측정 |
|
자동테이블기능 |
측정위치지정(X,Y,Z) 동일패턴반복기능
원점보정기능
측정위치확인 기능 |
|
데이터 처리 |
평균,최대,최소,표준편차, Cp, Cpk 히스토그램 등의 통계치 출력,
측정 데이터의 3차원표시, X-R관리도 |
|
안전기능 |
X-Ray 잠금장치, 전원안전장치, 패스워드 기능 |
|
그 외 기능 |
자동교정, 자동 자가 진단 모드, 스테이지 좌표표시 |
도금/하지에
따른 측정가능범위
|
금속의
조합 |
필터 |
에너지
범위 |
측정범위 |
|
도금 |
하지 |
|
Cr |
Fe |
× |
44
~ 53 |
0.02
~ 20 μm |
|
Ni |
× |
44
~ 58 |
|
Cu,
Zn, Brass 등 |
× |
44
~ 65 |
|
Ni
(NI-P) |
Fe |
× |
74
~ 89 |
0.02
~ 30 μm |
|
Cu |
Co |
62
~ 89 |
|
Brass |
Co |
62
~ 77 |
|
Cu |
Fe |
× |
74
~ 96 |
0.02
~ 30 μm |
|
Zn,
Brass |
Ni |
67
~ 96 |
|
Zn |
Fe |
× |
74
~ 103 |
0.02
~ 45 μm |
|
Cu |
Ni |
67
~ 96 |
|
Ag |
Fe,
Ni, Cu, Brass 등 |
× |
189
~ 260 |
0.02
~ 50 μm |
|
Sn |
Fe,
Ni, Cu, Brass 등 |
× |
217
~ 285 |
0.05
~ 90 μm |
|
Au |
Ni |
× |
92
~ 136 |
0.01
~ 8 μm |
|
Cu |
× |
102
~ 136 |
|
Sn-Pb
합금 |
Cu,
Ni |
× |
Sn
217 ~ 285
Pb
98 ~ 150 |
0.1
~ 50 μm
(합금비에
따라 다름) |
|
Cr
/ Ni 이층 |
Fe |
× |
Cr
44 ~ 53
Ni
74 ~ 89 |
Cr
0.01 ~ 5 μm
Ni
0.1 ~ 20 μm |
|
Cu |
Cr
: ×
Ni
: Co |
Cr
44 ~ 58
Ni
62 ~ 89 |
|
Brass |
Cr
: ×
Ni
: Co |
Cr
44 ~ 53
Ni
62 ~ 77 |
|
Ni
/ Cu 이층 |
Fe |
Ni
: Co
Cu
: × |
Ni
74 ~ 89
Cu
80 ~ 96 |
Ni
0.02 ~ 10 μm
Cu
0.1 ~ 20 μm |
|
Ag
/ Ni 이층 |
Cu |
Ag
: ×
Ni
: Co |
Ag
189 ~ 260
Ni
62 ~ 89 |
Ag
0.02 ~ 5 μm
Ni
0.1 ~ 20 μm |
|
Fe |
× |
Ag
189 ~ 260
Ni
74 ~ 89 |
|
Ag
/ Cu 이층 |
Brass |
Ag
: ×
Ni
: Co |
Ag
189 ~ 260
Ni
67 ~ 96 |
Ag
0.02 ~ 5 μm
Ni
0.1 ~ 20 μm |
|
Fe |
× |
Ag
189 ~ 260
Ni
74 ~ 96 |
|
Sn
/ Ni 이층 |
Cu |
Sn
: ×
Ni
: Co |
Sn
217 ~ 285
Cu
62 ~ 89 |
Sn
0.05 ~ 4 μm
Cu
0.1 ~ 20 μm |
|
Fe |
× |
Sn
217 ~ 285
Cu
74 ~ 989 |
|
Sn
/ Cu 이층 |
Fe |
× |
Sn
217 ~ 285
Cu
74 ~ 96 |
Sn
0.05 ~ 4 μm
Cu
0.1 ~ 20 μm |
|
Brass |
Sn
: ×
Cu
: Ni |
Sn
217 ~ 285
Cu
62 ~ 89 |
|
Au
/ Ni 이층 |
Cu |
Au
: ×
Ni
: Co |
Au
102 ~ 136
Ni
62 ~ 89 |
Au
0.01 ~ 2 μm
Ni
0.1 ~ 20 μm |
|
Brass |
Au
: ×
Ni
: Co |
Au
102 ~ 136
Ni
62 ~77 |
|
Fe |
× |
Au
92 ~ 132
Ni
74 ~ 89 |
|
Au
/ Ag 이층 |
Cu |
× |
Au
102 ~ 132
Ag
189 ~ 260 |
Au
0.01 ~ 2 μm
Ni
0.1 ~ 20 μm |
|
Ni |
× |
Au
92 ~ 132
Ag
189 ~260 |
|
Ni-Zn
합금 |
Fe |
Ni
: Co |
Ni
: 74 ~ 89
Zn
: 86 ~ 103 |
| 형광X선
도금두께측정기로 측정가능한 도금/하지 조합
○
→ 측정가능 × → 측정불가능 △ → 조건에 따라 측정가능 ▲ → 필터를 사용시 측정가능 - → 측정불가능
|
도금
하지 |
Au |
Ag |
Sn |
Rh |
Cd |
Cr |
Co |
Cu |
Ni |
Fe |
Zn |
Pb |
Pd |
Pt |
Plastic |
Sn-Pb |
|
Au |
- |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
× |
○ |
○ |
|
Ag |
○ |
- |
○ |
× |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
△ |
|
Sn |
○ |
○ |
- |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
△ |
|
Rh |
○ |
× |
○ |
- |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
|
Cd |
○ |
× |
× |
○ |
- |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
|
Cr |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
- |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Co |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
- |
○ |
× |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Cu |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
- |
▲ |
○ |
▲ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Ni |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
- |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Fe |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
- |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Zn |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
▲ |
○ |
○ |
- |
○ |
○ |
▲ |
○ |
○ |
|
Pb |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
- |
○ |
▲ |
○ |
△ |
|
Pd |
○ |
|
○ |
|
|
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
- |
○ |
○ |
○ |
|
Pt |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
○ |
- |
○ |
○ |
|
Al |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
|
C |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
- |
○ |
|
F |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
- |
○ |
|
Ga |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
|
Ge |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
× |
○ |
○ |
|
Mg |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
|
Mn |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Mo |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Se |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Si |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
|
Ti |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
|
V |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
|
SUS304 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
× |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Brass |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
▲ |
○ |
○ |
▲ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
Plastic |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
- |
○ |
EX-3000AUTO 관련 |
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도금두께측정기 관련자료 |
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