모델명

EX-3000

제조사

Elecfine (일본)

스테이지

수동

측정부

크기

602W × 463D × 732H

본체 중량

55

기타 중량

컴퓨터 중량 : 8.8Kg 프린터 중량 : 5.2

테임블 크기

170 x110

이동
가능거리

X

70

Y

70

Z

80 (옵션:150)

X 선원

타겟

텅스텐

관전압(kV)

50

주사방식

상면수직조사방식

검출기

비례 계수관

필터

수치 필터 및 기계식필터(Ni & Co)의 자동변환

코리미터(기본사양)

5 종류

0.1, 0.2, 0.5, 1.0 , 2.0 (자동변환)

코리미터(옵션사양)

0.05 x 0.5, 0.05

시료관찰

CCD 카메라

17 컴퓨터 모니터

컴퓨터

IBM 호환기종

프린터

잉크젯 프린터

측정대상

원자번호 22(Ti) ∼ 82(Pb) 원자번호 21이하는 흡광법에 의한 측정

측정단위

um, mil, Ml, g/m2, OZ/ft2, mg/cm2,Å 선택가능

측정범위

원자번호 22 ∼ 24 : 0.2 ∼ 약 20um
원자번호 25 ∼ 40 : 0.1 ∼ 약 30um
원자번호 41 ∼ 51 : 0.2 ∼ 약 70um
원자번호 52 ∼ 82 : 0.05 ∼ 약 10um

검량선

검량선자동작성기능
멀티포인트검량선

측정기능

수동 측정기능

측정결과 출력, 자동측정 조건설정기능, 스펙트럼 측정, 측정포인트사이의 거리측정기능

교정기능

교정곡선의 자동 표시, 다점교정

보정기능

하지보정

어플리케이션

단층두께.2층 3층두께, 합금두께 및 성분비동시측정,무전해니켈측정

자동테이블기능

측정위치지정(X,Y,Z) 동일패턴반복기능
원점보정기능
측정위치확인 기능

데이터 처리

평균,최대,최소,표준편차, Cp, Cpk 히스토그램 등의 통계치 출력,
측정 데이터의 3차원표시, X-R관리도

안전기능

X-Ray 잠금장치, 전원안전장치, 패스워드 기능

그 외 기능

자동교정, 자동 자가 진단 모드, 스테이지 좌표표시